抛光液检测

抛光液是一种由去离子水、磨料、PH值调节剂、氧化剂以及分散剂等添加剂组成的水溶性试剂。在抛光的过程中，抛光液中的氧化剂等成分与硅片表面材料产生化学反应，在表面产生一层化学反应薄膜，后由抛光液中的磨粒在压力和摩擦的作用下将其去除，最终实现抛光。中科检测开展抛光液成分分析服务，具备CMA、CNAS资质认证。

多晶金刚石抛光液、氧化硅抛光液、氧化铈抛光液、氧化铝抛光液、碳化硅抛光液、锗抛光液、集成电路阻挡层抛光液等。

成分分析、主成分分析、杂质、硝酸含量、硫酸含量、盐酸含量、乙酸含量、水分等。

JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原子发射光谱法

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