膜厚度检测

膜层厚度是指基体上的金属或非金属覆盖层的厚度，也可以理解为从基底到膜层表面的距离。在实际应用中，膜层厚度的测量是非常重要的，因为它直接影响到薄膜的性能和应用效果。
中科检测可提供膜厚度检测服务，出具的膜厚度检测报告具有CMA资质。

1、金相测膜厚度
被测样品需要经垂直于待测膜层取样进行金相制样，再在金相显微镜下观察并拍照测量待测膜层厚度。适用于测量厚度＞1μm的金属膜层，可同时测量多层。
2、SEM测膜厚度
样品前处理与金相测厚相同，配有能谱附件（EDS）的SEM设备可以确定每一层膜层的成分。此方法测试范围宽，适用于测量厚度0.01μm~1mm的金属或非金属膜层。
3、荧光测厚度
使用XRF测厚仪测量，测量前需知道样品的镀膜工艺信息（如基材材料、膜层材料及顺序）；此方法适用于测量厚度＞0.01μm的金属膜层，可同时测量多层。
4、XPS深度剖析
XPS设备可以测试样品极表面的元素成分（每次测量的信息深度为5nm左右），并且可以在样品室内直接对样品表面进行溅射，可以去除指定厚度（纳米级）的表层物质，这两个功能结合使用就可以测量出纳米级膜层的厚度；此方法适用于测量纳米级厚度的膜层。
5、台阶测厚方法
台阶仪测厚，对厚度的测量范围较宽，0.1μm到10μm均能检测；但对样品的要求很高，膜层与基材之间必须有台阶，且表面光滑。

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